引進全球第二台巨量電子束微影設備
〔記者王駿杰／新竹報導〕ＡＩ人工智慧時代來臨，從無人車、智慧工廠至個人手機、電子穿戴裝備等晶片，都需要更高等級防駭保護。清華大學成立「國際產學聯盟」，昨天正式與巨量電子束直寫微影設備商荷蘭Mapper微影公司簽約，引進市面價值數十億元、全球第二台的巨量電子束微影設備到清華實驗室，將開發有專屬身分證的防駭安全晶片，也宣告十二吋晶圓巨量電子束直寫微影技術（MEB12）計畫正式在清華大學啟動。
MEB12 讓每個防駭晶片擁專屬身分證
清大將成為世界上首先擁有十二吋巨量電子束直寫微影半導體製程研發能力的大學，也讓台灣成為全球第一個能開發與試產具有專屬「身分證」防駭安全晶片的國家。
清華大學研發長曾繁根表示，清華國際產學聯盟邀集產學研各路英雄好漢，到清華切磋生物醫學、半導體、ＡＩ及物聯網、能源、文創等五大領域的「武功」。
清華大學奈微與材料科技中心主任邱博文表示，目前主流晶片製程為採用光罩的「光學微影」，就像照相一樣，速度很快，但沒有獨特編碼，容易被駭，只能在後端用軟體加密；採用「電子束微影」技術製造的晶片獨一無二，但製作得靠移動電子束慢慢「寫」進去，趕不上量產速度。此次清華引進的巨量電子束直寫微影技術，提升「寫」的速度，解決無法量產的困境。
邱博文說，傳統晶片採用軟體防駭，但既然採用軟體加密、就能用軟體解密，無法做到完全防駭；巨量電子束直寫微影技術能為每一片晶片寫入獨特又複雜的編碼，做到硬體防駭，「未來我們使用無人車、物聯網裝置，才不會擔心駭客或恐怖份子入侵危害。」
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清華大學國際產學聯盟（GLORIA）會員聯合簽約，整合學界資源帶動產業發展能量。（清大提供）
報導來源：自由時報【原文網址】